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百級烘箱用途及特點

發布日期：2018-04-13

百級烘箱中桶材料：采用進口SUS304#鏡面不銹鋼板，并經堿性蘇打水清潔，去油污及氬焊密封加工(防污染)。
     百級烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。
一．百級烘箱用途:
     百級烘箱用于半導體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預處理烘烤、涂膠后堅膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室等生產及科研部門；也可用于非揮發性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗。 
二．百級烘箱特點：
   1.在普通環境下使用，能夠確保烘箱內部等級達到Class 100
   2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產器，防機臺本身所產生微塵；
   3.采平面水平由后向前送風后經美國進口H.E.P.A Filter 20"×20"裝置往前門(特殊風道設計)方向送風，過濾效率99.99%，Class 100,排氣口：３"φ(附自動啟閉風門)
   4.強制送風循環方式。雙風道循環結構，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統，得到很好溫度控制精度。